Синтезът на силициев нитрид е съобщено за първи път през 1857 г. от Хенри Едуард Сен Клайър Девил и Фридрих Вонлер. В синтеза им се поставя тигел със силиций в тигел, пълен с въглерод и се нагрява, за да се намали проникването на кислород. Те съобщиха за продукт, който наричат силициев нитрид, но не успяха да определят химичния му състав.
През 1879 г. Пол Шютценбергер получава продукта чрез нагряване на силиций, смесен с лигавичен материал (паста, която може да се използва като лайнер с тигел, получена чрез смесване на въглища, въглищни брикети или кокс с глина) в взривна пещ и отчита като съединение с SI3N4. През 1910 г. Ludwig Weiss и Theodor Engelhardt произвеждат SI3N4 чрез нагряване на елементарен силиций в чист азот. През 1925 г. Фридрих и Ситиг синтезират силиконов нитрид чрез нагряване на силициев диоксид и въглерод в азотна атмосфера до 1250-1300 степен, използвайки термично намаляване на въглерода.
